Статья: КОбеспечение точности при автоматизированных измерениях сверхмалых размеров с использованием теоретических моделей и мер с природными константами

А. И. Козлитин, А. В. Никитин, В. Н. Сретенский

Государственный научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф. В. Лукина, Москва, Россия

Обсуждаются возможности “безэталонных” методов измерений сверхмалых размеров в растровом электронном микроскопе (РЭМ). Показано, что при использовании теоретических моделей формирования видеосигнала, мер периода и природных констант удается снизить погрешности измерений до нескольких нанометров.