А. М. Филачев
ГП НИИ электронной и ионной оптики, Москва, Россия
Б. И. Фукс
Институт радиотехники и электроники РАН, Москва, Россия
Прецизионная электронно-лучевая обработка материалов в значительной степени осложняется влиянием электрического заряда, вносимого в материал электронным пучком. В настоящей работе предложена физическая модель взаимодействия электронного пучка с диэлектрическими материалами, учитывающая тепловые процессы, глубину проникновения электронов, накопление заряда и связанные с этим электрические поля, величина которых в значительной степени определяется поверхностной проводимостью диэлектрика.