И. С. Гайдукова, А. М. Филачёв
ГП НИИ электронной и ионной оптики, Москва, Россия
Представлены результаты оптимизации геометрии электродов термоэмиссионной системы для установки электронно-лучевого гравирования на базе компьютерного моделирования формирования электронных пучков в термоэмиссионных системах с учетом влияния пространственного заряда формируемого пучка и разброса термоэлектронов по скоростям.