Исследование индуктивного ВЧ-разряда как самосогласованной системы. Часть VII. Математичекое моделирование индуктивного ВЧ-разряда с емкостной компонентой (самосогласованная модель)
Авторы: Александров А. Ф., Бугров Г. Э., Вавилин К. В., Керимова И. Ф., Кралькина Е. А., Павлов В. Б., Плаксин В. Ю., Рухадзе А. А., Савинов В. П.
39