Д.Э. Гринфельд
Московский физико-технический институт, Москва, Россия
А.М. Филачев
ГП Научно-исследовательский институт электронной и ионной оптики, Москва, Россия
Б.И. Фукс
Институт радиотехники и электроники, Москва, Россия
Рассмотрен процесс электронно-лучевой обработки поверхности диэлектрических материалов. Дано описание метода измерения электрического разряда, накапливаемого в обрабатываемом образце. Приведены экспериментальные данные и их анализ.