А. А. Жуков, С. А. Жукова, Ю. С. Четверов
ОАО «ЦНИИ ”Циклон”», Москва, Россия
Г. А. Корнеева
ИНХС им. А. В. Топчиева РАН, Москва, Россия
Исследовано влияние молекулярной массы полиамидокислоты на основе пирромелитового диангидрида и оксидианилина, а также химического состава полиимидов на скорость плазмохимического травления покрытий. Методом ИК-спектроскопии показано, что при плазмохимическом травлении не происходит химических превращений в объеме полностью имидизированных покрытий. Термодинамическими расчетными методами проведена оценка устойчивости адгезионных соединений исследованных полиимидов.