Методы создания системы металлизации с индиевыми микроконтактами для кремниевых матричных МОП-мультиплексоров
Авторы: Акимов В. М., Васильева Л. А., Каган Н. Б., Климанов Е. А., Курбет И. Ю., Лисейкин В. П., Микертумянц А. Р., Седнев М. В., Серегина Н. Н., Щукин С. В.
71