Investigation of "Helicon" discharge plasma parameters in the hybrid RF plasma system
The authors: A. F. Aleksandrov, A. K. Petrov, K. V. Vavilin, E. A. Kralkina, P. A. Neklyudova, A. M. Nikonov, V. B. Pavlov, A. A. Ayrapetov, V. V. Odinokov, V. A. Sologub, and G. Ya. Pavlov
25