И. С. Макарова
ГП НИИЭИО, г.Москва
Б. Н. Васичев, М. О. Зотова
Московский государственный институт электроники и математики
А. М. Филачев
Государственный научный центр “Орион”
Приводится методика и программное обеспечение для расчета аберраций, обусловленных неточностью изготовления и юстировки полюсных наконечников магнитных электронных линз. Оценивается влияние эллиптичности каналов и относительного сдвига осей каналов на коэффициенты аберраций и радиусы кружков рассеяния.