В.А. Федирко
Московский государственный технологический университет “СТАНКИН”
С.В. Поляков, Ю.Н. Карамзин, И.Г. Захарова
Институт математического моделирования РАН
Построена двумерная квазигидродинамическая модель полевой эмиссии электронов из кремниевого микрокатода, учитывающая эффекты разогрева электронов в сильном электрическом поле. Предложен оригинальный численный метод решения, обеспечивающий консервативность и слабую монотонность разностного решения. Проведено численное моделирование стационарных состояний эмиттера. Полученные результаты существенны при разработке эффективных кремниевых автокатодов для устройств вакуумной микроэлектроники.